冷阴 电离计阳 筒的两端有 对阴 板,在外加磁场作用,阳 筒内形成潘宁放电产生离子,根据阴 板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。
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详细信息 真空查漏中涉及真空部分的介绍:复合真空计由热偶真空计与热阴 电离真空计组成,测量范围从大气~10-5Pa。
冷阴 电离计阳 筒的两端有 对阴 板,在外加磁场作用,阳 筒内形成潘宁放电产生离子,根据阴 板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。 |